申请号：202122706343.8，

申请人：陈迪，赵云，等.

专利摘要：本实用新型公开了样品台、薄膜生长设备和原位测量系统。该原位样品台包括导热样品座、配套使用的用于固定衬底的第一环形绝缘压片、第二环形绝缘压片、紧固件和绝缘套管，以及两组探针组件。探针组件中探针臂支架上部设有探针臂通道且中部设有弹性件，探针臂穿过探针臂通道且可上下移动和/或水平转动；弹性件一端与探针臂支架相连且另一端与探针臂可拆卸相连；金属导线贯穿探针臂且其一端与金属探针相连另一端适于与电化学测试装置相连；弹性件与探针臂相连时处于拉伸状态，探针臂在弹性件的回弹力作用下可使金属探针与集电极接触。采用该样品台可实现薄膜生长设备和电化学测试装置的耦合，原位精确、方便、高效地测试薄膜样品的高温电化学性能。